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浅谈真空等离子清洗机的原理及清洗过程

发布时间:2022-01-19      点击次数:140
  真空等离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔体及相关机械等几个部分构成。是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。
  
  清洗机利用两个电极形成电磁场,用真空泵实现有效的真空度,随着气体越来越稀薄,分子之间的间距及分子或离子的自由运动的距离也越来越长,受磁场作用发生碰撞而形成等离子体并产生辉光。
  
  等离子体在电磁场内的空间运动,并不断轰击被处理物体表面,去除表面油污以及表面氧化物、灰化表面有机物以及其它化学物质,以此达到表面处理清洗和刻蚀的效果。
  
  真空等离子清洗机整个清洗过程大致如下:
  
  1、首先将被清洗的工件送入真空机并加以固定,启动运行装置开始排气,让真空腔内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要几分钟。
  
  2、然后向真空室内引入等离子清洗用的气体,并保持腔内压强稳定。根据清洗材料的不同,可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。
  
  3、在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体,让在真空腔内产生的等离子体笼罩住被处理的工件并开始清洗作业,一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等,根据处理材质的不同而定。
  
  4、清洗完毕后切断电源,并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出,清洗结束。
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